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传感器与MEMS设计制造技术图书

原作名： = Design and manufacturing technology for sensors and mems

定价： 268.0

页数： XXI, 662页

学科：工学-自动化类

ISBN： 978-7-118-13400-1

内容简介

本书主要介绍了MEMS传感器的设计制造技术与应用, 从MEMS的概念与典型MEMS传感器出发, 阐述了硅基MEMS器件设计制造的技术原理与工艺流程, 介绍了部分非硅基特殊材料传感器的制造技术, 结合相关案例展望了MEMS设计制造领域设备和工艺的发展趋势。

馆藏情况

馆藏号	馆藏地名称	索书号	文献状态
001684164	西校理科（西区图书馆主楼五楼）定位	TP212 2540	在馆
001684166	西校理科（西区图书馆主楼五楼）定位	TP212 2540	在馆
001684165	西校理科（西区图书馆主楼五楼）定位	TP212 2540	在馆

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