原作名: = Mechanical quantity sensors and MEMS technology applications
作者: 樊尚春 编著
出版: 国防工业出版社 ,2024
定价: 248.0
页数: 21, 625页
学科: 工学-自动化类
主题: 微机电系统
ISBN: 978-7-118-13401-8
丛书: 传感器与MEMS技术丛书
本书介绍机械量传感器及其应用。包括传感器静态、动态性能的评估, 传感器用基本弹性敏感元件的力学特性 ; 机械量传感器用到的变电阻、变电容、变电感、压电式、谐振式等基本测量原理 ; 力、力矩、速度、转速、角速度、加速度、振动、温度、压力以及流量传感器等 ; 机械量传感器的典型应用实例。
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