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真空镀膜技术与应用图书

定价： 98.0

页数： 234页

学科：工学-电子信息类

ISBN： 978-7-5629-6979-2

内容简介

本书内容涵盖了真空镀膜的关键技术和实际应用。在介绍真空镀膜技术基础理论及应用的基础上，着重阐述了真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜、真空离子镀膜、等离子体增强化学气相沉积的原理、工艺、应用等，紧接着介绍了薄膜厚度的测量、薄膜分析检测技术等方面的内容，最后详细阐述了工模具真空镀膜生产线的具体工艺流程。

馆藏情况

馆藏号	馆藏地名称	索书号	文献状态
001305185	西校理科（西区图书馆主楼五楼）定位	TN305.8 6098	在馆

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