本书共分7章, 主要介绍SOI晶圆制备技术、SOI晶圆材料力学特性与结构特性、机械致晶圆级单轴应变SOI技术、高应力氮化硅薄膜致晶圆级应变SOI技术及其相关效应、高应力氮化硅薄膜致应变SOI晶圆制备、晶圆级应变SOI应变模型、晶圆级应变SOI应力分布的有限元计算。
| 馆藏号 | 馆藏地名称 | 索书号 | 文献状态 | |
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| 001332025 | 西校理科 （西区图书馆主楼五楼） 定位 | TN405 4364 | 在馆 |
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